慣性計測ユニット（IMU）は、角速度と加速度を検出し、運動体の挙動を把握・制御するために使用されます。エプソンのIMUは、Quartz-MEMS方式のジャイロセンサーを搭載し、高精度かつ高安定な出力を提供します。

慣性計測ユニット　主要仕様

性能 ・ 機能／機種名		M-G370PDT	M-G370PDG	M-G366PDG	M-G330PDG
製品モデルタイプ		低ノイズタイプ	ハイスペックモデル	スタンダードモデル	ベーシックモデル
インターフェイス		SPI/UART	SPI/UART	SPI/UART	SPI/UART
ジャイロスコープ	検出範囲[°/s]	±200	±450	±450	±400
	バイアス安定性[°/h]	0.8	0.8	1.2	3
	ランダムウォーク[°/√h]	0.03	0.06	0.08	0.1
	帯域[Hz]	189	189	472	500
加速度	検出範囲[G]	±8/±16*1	±8/±16*1	±8/±16*1	±8/±16*1
	初期バイアス[mG,σ]	2	2	3	4
アライメント精度（ジャイロ/加速度）[°]		0.01	0.01	0.01	0.01
動作温度範囲[℃]		-40～+85	-40～+85	-40～+85	-40～+85
消費電流[mA(typ)]		16	16	16	16
電源電圧[V]		3.3	3.3	3.3	3.3
サイズ[mm]		24×24×10	24×24×10	24×24×10	24×24×10
重量[g]		10	10	10	10
主な機能		外部トリガー、カウンターリセット入力 など

*1 同一モデルにおいて、設定変更切替可能

この慣性センサーは物体の加速度を計測し、直流（DC, 0Hz）の加速度も検出可能です。特長として、水晶を用いた加速度検出素子により温度変化に強く、デジタル方式で高精度かつ広帯域の加速度検知が可能です。デジタルデータ出力によりPCからの制御が容易で、低ノイズ・高分解能・広い検出範囲・高安定性を持ちます。

3軸デジタル加速度計　主要仕様

性能・機能／機種名	M-A352AD10	M-A552AC1	M-A552AR1
インターフェイス	UART/SPI	CANopen	RS422
ノイズ密度[μG/Hz]	0.2（Average）	0.5（Average）	0.5（Average）
検出範囲[G]	±15	±15	±15
軸数	3軸（X/Y/Z）	3軸（X/Y/Z）	3軸（X/Y/Z）
帯域[Hz]	460	460	460
出力レート[Sps]	1000	1000	1000
分解能[uG/LSB]	0.06	0.06	0.06
動作温度範囲[℃]	-30～+85	-30～+70	-30～+70
消費電流[mA(typ)]	13.2	35@12V	49@12V
電源電圧[V]	3.3	9～32	9～32
サイズ[mm]	48×24×16	65×60×30	65×60×30
重量[g]	25	128	128
主な機能	組込み用	IP67対応（防水・防塵）	IP67対応（防水・防塵）

振動センサーは生産設備や土木構造物、研究開発分野で使用され、設備機器の劣化や損傷を早期に発見し、ダウンタイムの削減や修理コストの抑制に寄与します。エプソンの振動センサーは、ISO10816/ISO20816に準拠し、3軸同時検出で精密なデータを提供します。デジタル出力によりPCからの制御が可能で、分解能と広い検出範囲を両立し、システムコストを抑えられます。また、防水・防塵性能により厳しい環境でも使用可能です。

振動センサー　主要仕様

性能・機能／機種名	M-A342VD10	M-A542VR10
インターフェイス	UART/SPI	RS422
転送速度[bps]	115.2 k ~ 921.6 k	115.2 k ~ 921.6 k
検出範囲	速度:±100mm/s、変位:±200mm	速度:±100mm/s、変位:±200mm
検出軸	3軸（X/Y/Z）	3軸（X/Y/Z）
出力物理量	速度、変位	速度、変位
出力形式	raw、rms、p-p（デジタル出力）	raw、rms、p-p（デジタル出力）
測定周波数範囲[Hz]	速度：10～1,000、変位：1～100	速度：10～1,000、変位：1～100
動作温度範囲[℃]	-30～+85	-30～+70
消費電流[mA(Typ.)]	29@(3.3V)	51@(12V)
電源電圧[V]	3.15～3.45	9～32
サイズ[mm]	48×24×16	65×60×30
重量[g]	25	128
主な機能	組込み用	IP67対応（防水・防塵）

IL700/IL200シリーズ仕様