エプソンは、長年培ってきた「省・小・精の技術」を生かした半導体、そして水晶デバイスの「QMEMS技術※」、この両事業が有する強みを融合し進化させることにより、高精度・高安定、かつ低パワー・小型化を実現した独自のセンシングシステム商品を市場に提供しています。エプソン独創の本商品は、農業機械・建設機械・無人機などの姿勢・挙動の検知・制御、橋梁・大型構造物・機械の振動・傾斜モニタリングなどの用途に最適です。
慣性計測ユニット（IMU）
慣性計測ユニット（IMU）は、角速度と加速度を検出し、運動体の挙動を把握・制御するために使用されます。エプソンのIMUは、Quartz-MEMS方式のジャイロセンサーを搭載し、高精度かつ高安定な出力を提供します。
-
慣性計測ユニット 主要仕様 性能 ・ 機能／機種名 M-G370PDT 
M-G370PDG 
M-G366PDG 
M-G330PDG 
製品モデルタイプ 低ノイズタイプ ハイスペックモデル スタンダードモデル ベーシックモデル インターフェイス SPI/UART SPI/UART SPI/UART SPI/UART ジャイロスコープ 検出範囲[°/s] ±200 ±450 ±450 ±400 バイアス安定性[°/h] 0.8 0.8 1.2 3 ランダムウォーク[°/√h] 0.03 0.06 0.08 0.1 帯域[Hz] 189 189 472 500 加速度 検出範囲[G] ±8/±16*1 ±8/±16*1 ±8/±16*1 ±8/±16*1 初期バイアス[mG,σ] 2 2 3 4 アライメント精度（ジャイロ/加速度）[°] 0.01 0.01 0.01 0.01 動作温度範囲[℃] -40～+85 -40～+85 -40～+85 -40～+85 消費電流[mA(typ)] 16 16 16 16 電源電圧[V] 3.3 3.3 3.3 3.3 サイズ[mm] 24×24×10 24×24×10 24×24×10 24×24×10 重量[g] 10 10 10 10 主な機能 外部トリガー、カウンターリセット入力 など *1 同一モデルにおいて、設定変更切替可能
-
3軸デジタル加速度計
この慣性センサーは物体の加速度を計測し、直流（DC, 0Hz）の加速度も検出可能です。特長として、水晶を用いた加速度検出素子により温度変化に強く、デジタル方式で高精度かつ広帯域の加速度検知が可能です。デジタルデータ出力によりPCからの制御が容易で、低ノイズ・高分解能・広い検出範囲・高安定性を持ちます。
-
3軸デジタル加速度計 主要仕様 性能・機能／機種名 M-A352AD10 
M-A552AC1 
M-A552AR1 
インターフェイス UART/SPI CANopen RS422 ノイズ密度[μG/Hz] 0.2（Average） 0.5（Average） 0.5（Average） 検出範囲[G] ±15 ±15 ±15 軸数 3軸（X/Y/Z） 3軸（X/Y/Z） 3軸（X/Y/Z） 帯域[Hz] 460 460 460 出力レート[Sps] 1000 1000 1000 分解能[uG/LSB] 0.06 0.06 0.06 動作温度範囲[℃] -30～+85 -30～+70 -30～+70 消費電流[mA(typ)] 13.2 35@12V 49@12V 電源電圧[V] 3.3 9～32 9～32 サイズ[mm] 48×24×16 65×60×30 65×60×30 重量[g] 25 128 128 主な機能 組込み用 IP67対応（防水・防塵） IP67対応（防水・防塵） -
振動センサー
振動センサーは生産設備や土木構造物、研究開発分野で使用され、設備機器の劣化や損傷を早期に発見し、ダウンタイムの削減や修理コストの抑制に寄与します。エプソンの振動センサーは、ISO10816/ISO20816に準拠し、3軸同時検出で精密なデータを提供します。デジタル出力によりPCからの制御が可能で、分解能と広い検出範囲を両立し、システムコストを抑えられます。また、防水・防塵性能により厳しい環境でも使用可能です。
-
振動センサー 主要仕様 性能・機能／機種名 M-A342VD10 
M-A542VR10 
インターフェイス UART/SPI RS422 転送速度[bps] 115.2 k ~ 921.6 k 115.2 k ~ 921.6 k 検出範囲 速度:±100mm/s、変位:±200mm 速度:±100mm/s、変位:±200mm 検出軸 3軸（X/Y/Z） 3軸（X/Y/Z） 出力物理量 速度、変位 速度、変位 出力形式 raw、rms、p-p（デジタル出力） raw、rms、p-p（デジタル出力） 測定周波数範囲[Hz] 速度：10～1,000、変位：1～100 速度：10～1,000、変位：1～100 動作温度範囲[℃] -30～+85 -30～+70 消費電流[mA(Typ.)] 29@(3.3V) 51@(12V) 電源電圧[V] 3.15～3.45 9～32 サイズ[mm] 48×24×16 65×60×30 重量[g] 25 128 主な機能 組込み用 IP67対応（防水・防塵） -